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净化车间

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及空气中悬浮粒子洁净度等级

等数ISO空气洁净
大于或等于表中粒径的zui大浓度限值(P/m -空气)
洁净等级美国联邦209E
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO Class1
10
2
 
 
 
 
 
ISO Class2
100
24
10
4
 
 
 
ISO Class3
1000
237
102
35
8
 
1
ISO Class4
10000
2370
1020
352
83
 
10
ISO Class5
100000
23700
10200
3520
832
29
100
ISO Class6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
1000
ISO Class7
 
 
 
352000
83200
2930
10000
ISO Class8
 
 
 
3520000
832000
29300
100000
ISO Class9
 
 
 
35200000
8320000
293000
300000


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